革命性的原子力顯微鏡（AFM），可實現(xiàn)與掃描電子顯微鏡（SEM）的無縫集成，為原位關聯(lián)顯微鏡開辟新可能。

憑借優(yōu)化設計，LiteScope AFM 兼容賽默飛世爾、TESCAN、蔡司、日立、JEOL 等主流品牌 SEM 系統(tǒng)及其配件，其他品牌電鏡亦可定制適配。

測量模式：

• 機械性能：AFM，能量耗散，相位成像

• 電性能：C-AFM、KPFM、EFM、STM

• 磁性能：MFM

• 電機械性：PFM

• 光譜學：F-z

 曲線，I-V 曲線

• 相關性分析：CPEM

AFM-SEM 同步聯(lián)用技術（通用版）

實用特點

• 原位樣品表征

在 SEM 內部的原位條件下確保樣品分析同時、同地、同條件下進行，并且在飛納電鏡內部也能實現(xiàn)原子級分辨率

• 精確定位感興趣區(qū)域

  SEM 與 AFM 原位聯(lián)用，保證了同一時間、同一地點和相同條件下的分析 使用 SEM 畫面，實時觀測探針與樣品的相對位置，為探針提供導航，精準定位

• 實現(xiàn)復雜的樣品分析需求

  提供電氣、磁學、光譜等多種測量模式，且能同一位置直接聯(lián)用 SEM 及 EDS 功能。同時獲取 AFM 與 SEM 數(shù)據(jù)，并將其無縫關聯(lián)

鋼和合金的復合分析

利用原子力顯微鏡對雙相鋼進行復合分析，揭示了表面形貌（AFM）、鐵 氧體晶粒的磁疇結構（MFM）、晶粒相比（SEM）和表面電位雜質開爾文 探針力顯微分析法。 • 相關多模態(tài)分析揭示了復雜的性質 • 掃描電鏡精確定位 ROI，AFM 綜合分析

電池的原位表征

固態(tài)電池（SSB）比鋰離子電池顯示出更高的能量密度、更長的壽命和更 好的安全性。由鋰鎳錳鈷氧化物（NMC）顆粒組成的正極膠帶在手套箱中 經過 200 個周期后被打開，原位切割并使用 AFM-in-SEM 測量。

 樣品提供： Aleksandr Kondrakov, BELLA (DEU)

• 在 CAM 橫截面處對局部電導率（C-AFM）進行表征

• 無需空氣暴露即可原位制備敏感 CAM

納米線的優(yōu)良表征

懸掛蜘蛛絲納米線因其機械性能而被研究，通過超精確定位AFM 尖在懸掛的納米線上。力-距離光譜學使得確定納米線的彈性和塑性 變形成為可能。

樣品提供： Linnea Gustafsson, KTH (SWE)。

• SEM： 精確定位 AFM 尖和納米線變形的實時觀察

• 分析屬性如楊氏模量和抗拉強度

選配件

納米壓痕模塊

納米壓痕模塊能夠在使用超高倍數(shù)掃描電子顯微鏡觀察樣品的同時進 行微機械實驗，并利用 LiteScope 以亞納米級分辨率對壓痕樣品進行 分析

NenoCase 與數(shù)碼相機

在環(huán)境條件或不同氣氛下將 LiteScope 作為獨立 AFM 使用，通過數(shù)碼 相機精確導航探針。

樣品旋轉模塊

適用于 FIB 后進行 AFM 分析。此外還允許同時安裝多個樣品實現(xiàn)在不 打開 SEM 腔室的情況下即可對多個樣品進行測試。